| Module | LV Type | CP | LV | Dates | Examination |
|---|---|---|---|---|---|
| Microsystems development | Fach-/Modulprüfung | 6 | 585835 | ||
| Ultra-Precision Technology I | Fach-/Modulprüfung | 6 | 585117 | ||
| Ultra-Precision Technology: Machines | Fach-/Modulprüfung | 6 | 585124 | ||
| Übung | 578087 | Mi 14:30-16:00 SG 202 (1810|202) (×15) | |||
| Vorlesung | 577604 | Mi 16:30-18:00 SG 202 (1810|202) (×15) |